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半导体行业-晶圆定位
来源: | 作者:佚名 | 发布时间: 2025-10-23 | 76 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:
此方案使用了：上位控制器、伺服、视觉。
解决并排除了根据不同晶圆特征及振动的干扰因素，实现4目超高精度定位。