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电子元件制造
2
半导体行业-晶圆定位
来源:
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作者:
佚名
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发布时间:
2025-10-23
|
77
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此方案使用了：上位控制器、伺服、视觉。
解决并排除了根据不同晶圆特征及振动的干扰因素，实现4目超高精度定位。
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